特許
J-GLOBAL ID：200903045319546340
インクジェットヘッド及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-006896
公開番号（公開出願番号）：特開平10-193611
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年07月28日
要約：
【要約】【課題】インク流路が形成されたシリコン基板と、ガラス基板を接合してインクジェットヘッドを製造する方法において、内部に段差が生じないように、ヘッド内部のインク流路と、外部を結ぶインク供給口を形成する。【解決手段】インク流路6、8が形成されたシリコン基板2と、貫通孔36が設けられたガラス基板3とを接合する。接合された基板2、3の貫通孔側からシリコン基板2にプラズマエッチングを施し、インク流路6、8と外部を結ぶインク供給口14を形成する。
請求項（抜粋）：
インク流路が形成されたシリコン基板と、貫通孔が設けられたガラス基板とを接合し、接合された基板の前記貫通孔側から前記シリコン基板にエッチングを施し、前記インク流路と外部を結ぶインク供給口を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (4件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, C23F 4/00
B41J 3/04 103 A
, C23F 4/00 E
, B41J 3/04 103 H
