ロールコート用感放射線性樹脂溶液組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-100154
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273750
出願日： 1992年03月27日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】高感度で高解像度であり、かつロールコーターによる塗布性に優れたポジ型レジストを得ることができるロールコート用感放射線性樹脂溶液組成物を提供すること。【構成】アルカリ可溶性ノボラック樹脂、1,2-キノンジアジド化合物、および2-ヒドロキシプロピオン酸エチルを主成分とする溶剤を含有するロールコート用感放射線性樹脂溶液組成物

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、1,2-キノンジアジド化合物および2-ヒドロキシプロピオン酸エチルを含有して成りそして20°Cにおける粘度が15〜60センチポイズの間にあることを特徴とするロールコート用感放射線性樹脂溶液組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/022 , G03F 7/004 521

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-293340
特開平3-185448
特開昭62-036657

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