特許
J-GLOBAL ID：200903045326611076
マイクロデバイス及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-353681
公開番号（公開出願番号）：特開2004-184824
出願日： 2002年12月05日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】本発明は光スイッチに用いて好適なマイクロデバイス及びその製造方法に関し、高い信号伝達特性を実現することを課題とする。【解決手段】ミラー26が設けられた移動部24と、この移動部24を移動可能に支持する基板部23とを設ける。そして、ミラー26に入射される入射光と、このミラー26により反射される反射光とのなす角度αが鋭角(α<90°)となるよう光ファイバー27を配置する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
機能素子が設けられた移動部と、
該移動部を移動可能に支持すると共に、前記機能素子に対し光の入出射を行なう複数の導波経路が配設される基板部とを有するマイクロデバイスであって、
前記機能素子に入射される入射光と、前記機能素子により反射される反射光とのなす角度が鋭角となるよう前記導波経路を配置したことを特徴とするマイクロデバイス。
IPC (4件)：
G02B26/08
, B81B3/00
, B81C1/00
, G03F7/20
G02B26/08 E
, B81B3/00
, B81C1/00
, G03F7/20 501
2H041AA14
, 2H041AB13
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
, 2H097LA20
