特許

J-GLOBAL ID：200903045330964161

プレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法

発明者： 青木 浩
出願人/特許権者： ミヨタ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016726
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221686
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】 生産性が良好で低価格且つ高性能なプレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法を提供する。【解決手段】 半導体基板に、平板状の可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前記可動板に通電により磁界を発生する平面コイルと、ミラーを設け、該半導体基板を台座基板に搭載し、該台座基板と、前記半導体基板のトーションバーの軸方向と平行に配置された可動板の平面コイルに磁界を作用させるための対をなす永久磁石とヨークをベース基板に固定し、前記ベース基板に設けられたパターン部と前記半導体基板に形成されたパターン部とが電気的に接続され、さらに前記半導体基板を保護するための箱状カバー部材が設けられて成るプレーナー型ガルバノミラーにおいて、前記箱状に形成されたカバー部材に設けられた突起とベース基板上に設けられた穴とが嵌合する事によりカバー部材とベース基板が位置決め固定されるプレーナー型ガルバノミラーとする。

請求項（抜粋）：

半導体基板に、平板状の可動板と該可動板を半導体基板に対して半導体基板上下方向に揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前記可動板に通電により磁界を発生する平面コイルと、ミラーを設け、該半導体基板を台座基板に搭載し、該台座基板と、前記半導体基板のトーションバーの軸方向と平行に配置された可動板の平面コイルに磁界を作用させるための対をなす永久磁石とヨークをベース基板に固定し、前記ベース基板に設けられたパターン部と前記半導体基板に形成されたパターン部とが電気的に接続され、さらに前記半導体基板を保護するために前記半導体基板上方及びヨーク側面を覆うようにした箱状に形成されたカバー部材が設けられて成るプレーナー型ガルバノミラーにおいて、前記の箱状に形成されたカバー部材に設けられた突起とベース基板に設けられた穴とが嵌合する事により、カバー部材とベース基板が位置決め固定されることを特徴とするプレーナー型ガルバノミラー。

IPC (3件)：

G02B 26/10 104 ,  B41J 2/44 ,  G02B 26/08

FI (3件)：

G02B 26/10 104 Z ,  G02B 26/08 E ,  B41J 3/00 D

Fターム (12件)：

2C362BA17 ,  2C362BA18 ,  2H041AA11 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB02 ,  2H045AB08 ,  2H045AB72 ,  2H045BA02 ,  2H045DA02