特許
J-GLOBAL ID:200903045332830359
超音波顕微鏡
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 和夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-085152
公開番号(公開出願番号):特開2004-294189
出願日: 2003年03月26日
公開日(公表日): 2004年10月21日
要約:
【課題】このような測定方法では、1点のデータを解析するために、100MHz〜200MHzステップでデータを取るには、21回の測定がという問題があった。【解決手段】インパルス発信機1から広帯域の複数の周波数、例えば100MHz〜200MHzの周波数帯域を含むインパルスを発超音波振動子2に発信すると、超音波振動子2は複数の周波数を含む超音波をガラス基板3の上に載置されて超音波伝播媒体4で覆われた試料5に照射されるので、照射された超音波の反射波は再度超音波振動子2で受信され、超音波振動子2で受信された反射波は受信機6で受信されて増幅され、A/D変換器7でアナログ反射信号からデジタル反射信号に変換されて、フーリエ変換機能8aと音速解析機能8bを設けたパーソナルコンピュータ8に入力され、演算結果は表示装置9で表示される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数の周波数を含むインパルスを発信するインパルス発信機と、該インパルス発信機から出力されたインパルスを入力することによって超音波を出力する超音波振動子と、試料を載置したガラス基板と、前記超音波振動子から前記ガラス基板及び前記試料に照射された超音波の反射波を受信して増幅する受信機と、該受信機からの反射波信号をデジタル変換するA/D変換器と、該A/D変換器から出力されたデジタル信号をフーリエ変換するフーリエ変換機能とフーリエ変換された信号を前記試料の音速を解析する音速解析機能とを設けたパーソナルコンピュータとからなり、前記インパルス発信機からの1回の出力によって取り込まれた超音波の反射波信号を前記パーソナルコンピュータのフーリエ変換機能でフーリエ変換して得られたデータから前記試料の音速を求めることを特徴とする超音波顕微鏡。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N29/18
, G01N29/20 501
Fターム (11件):
2G047AC13
, 2G047AD02
, 2G047BC02
, 2G047EA12
, 2G047FA01
, 2G047GF06
, 2G047GG09
, 2G047GG12
, 2G047GG20
, 2G047GG32
, 2G047GG33
引用特許:
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