静電マイクロリレー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-335725
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164104
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】簡単な構造で、大型化を招くことなく、安価で簡単に製作できる接点開離性に優れた静電マイクロリレーを提供する。【解決手段】固定基板10又は可動基板20の少なくともいずれか一方に、可動基板20の駆動後、接点閉成前に、残る他方の基板20又は10に当接する凸部24を形成する。

請求項（抜粋）：

固定基板に支持部を介して可動基板を所定間隔で対向配設し、固定基板の固定電極と可動基板の可動電極との間に電圧を印加し、静電引力を発生させて可動基板を駆動することにより、可動基板の可動接点を固定基板の固定接点に閉成する静電マイクロリレーにおいて、前記両基板のうち、少なくともいずれか一方に凸部を形成し、可動基板の駆動後、接点閉成前に、前記凸部が残る他方の基板に当接するようにしたことを特徴とする静電マイクロリレー。

引用特許：

審査官引用 (4件)

静電リレー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-185282 出願人：松下電工株式会社
静電駆動型リレー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-166548 出願人：松下電工株式会社
特開昭63-266723

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