特許
J-GLOBAL ID：200903045342878953
改良研磨スラリー及びその使用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
辻本 一義
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-515279
公開番号（公開出願番号）：特表平11-511394
出願日： 1996年10月04日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】金属含有加工部材を研磨あるいは平坦化する際に用いる水性スラリーであり、このスラリーの固形物の約1〜50重量%はサブミクロンのアルファ-アルミナ、固形部物の残りは研磨性がかなり小さい合成物からなる。研磨性がかなり小さい固形物は、アルミニウムハイドレート、アルミニウムハイドロオキサイド、ガンマ-アルミナ、デルタ-アルミナ、非晶アルミナ及び非晶シリカからなるグループの一つあるいは複数である。ケミカル-メカニカル ポリッシングの際に、水性スラリーが研磨化合物として使用される金属含有加工部材の表面を研磨する方法である。
請求項（抜粋）：
金属含有加工部材のケミカル-メカニカル ポリッシングに有益な水性スラリーであって、水、サブミクロンのアルファ-アルミナ粒子、単一あるいは複数の研磨性が大幅に小さいサブミクロンの固形物からなり、このサブミクロンの固形物は、アルミニウムハイドレート、アルミニウムハイドロオキサイド、ガンマ-アルミナ、デルタ-アルミナ、非晶アルミナ及び非晶シリカからなるグループのうち一つあるいは複数であり、アルファ-アルミナが、使用されるスラリーの全固形物の約1-50重量%をなす水性スラリー。
IPC (3件)：
B24B 37/00
, C23F 1/00
, H01L 21/304 622
B24B 37/00 H
, C23F 1/00 Z
, H01L 21/304 622 D
