非金属材料のプレート内に開口及び/またはキャビティのパターンを設ける方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：沢田雅男
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-513731
公開番号（公開出願番号）：特表平8-507259
出願日： 1994年11月08日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：

【要約】非金属、特に、固い脆性材料のプレートまたは層に、パターンで配置された複数の開口を持つ(金属)マスクが設けられた後、該プレートまたは層は、少なくとも1回の研磨パウダー粒子のジェットにさらされる。このジェットは前記プレートに対して相対的に移動される。前記マスクの前記ジェットにさらされる面上には、前述の処理工程の際に前記パウダー粒子のジェットにより該マスク内に発生する機械的ストレスを実質的に妨げるコーティング層が設けられでいる。柔らかく、弾性的であるラッカー及び粘着性の接着剤またはラッカーの形式が適切である。

請求項（抜粋）：

非金属材料のプレートまたは層内にパターンで配置される複数のキャビティ及び/または開口を設ける方法であって、少なくとも1回の研磨パウダー粒子のジェットを発生する工程と、前記プレートまたは前記層の表面上に前記ジェットを方向付ける工程と、前記ジェットが前記表面上に衝突する領域を限定する工程と、前記ジェットが前記表面上に衝突する領域を限定するためのマスクを用いながら、前記ジェットと前記プレートまたは前記層との間において相対的な運動を実行する工程とにより前記パターンを形成し、前記マスクは、パウダー粒子の前記ジェットによる前記工程の際に該マスク内に発生する機械的(圧力)ストレスを実質的に妨げる層でコーティングされる該ジェットが衝突する面を持つことを特徴とするパターンで配置される複数のキャビティ及び/または開口を設ける方法。

IPC (3件)：

B24C 1/04 , H01J 9/02 , H01J 9/24

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭61-141553
特開昭61-056868
特開昭58-202774

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