特許

J-GLOBAL ID：200903045360822418

磁気ディスクのヘッド傷検査方法およびヘッド傷検査装置

発明者： 浅野 真樹夫 ,  石綿 修 ,  栗川 明典
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社 ,  ホーヤ株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-347677
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190949
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】 磁気ディスクのヘッド傷の幅と長さを的確に計測し、判定条件に照らしてその良否を判定する。【構成】 ヘッド傷検査装置に対して、スピンドル機構2に付加され、ディスク1の回転角度θを検出する角度検出器2a と、ヘッド傷信号と角度信号により、ヘッド傷とスパイラル走査線の交差点の座標値(R,θ)を検出する交差点検出部71と、検出された各座標値より、ヘッド傷の幅と長さを計測する演算処理部72、および計測された幅と長さを判定条件に比較してヘッド傷の良否を判定するヘッド傷判定部73よりなるデータ処理部7とをそれぞれ設ける。

請求項（抜粋）：

磁気ディスクの被薄膜に生じた弧状のヘッド傷を対象とし、スピンドル機構に装着されて回転する該磁気ディスクの表面に対して、レーザスポットを投射し、このレーザスポットによって発生したヘッド傷による散乱光に基づいて磁気ディスクのヘッド傷を検査する検査方法であって、前記レーザスポットを移動制御部によって、前記磁気ディスクの半径方向に連続的に移動して前記レーザスポットをスパイラル走査し、散乱光を受光する受光器からの受光信号が入力されて信号処理部によってヘッド傷信号を出力する信号処理工程と、該磁気ディスクの半径方向の一定の幅ΔRs と、円周方向の一定の長さls とを良否の判定条件としてヘッド傷を検査する工程とを含み、前記スパイラル走査のピッチ間隔Δrを前記判定条件の幅ΔRs より小さい値とし、前記レーザスポットの直径Δφを該ピッチ間隔Δrのより大とし、かつ、前記受光器の受光面の幅を該ピッチ間隔Δrに対応した幅に設定し、前記磁気ディスクの回転角度を角度検出器により検出し、前記スパイラル走査ごとに前記信号処理部より出力されるヘッド傷信号と、前記移動制御部より出力される前記スポットの位置信号、および前記角度検出器より出力される角度信号とに基づき、前記ヘッド傷の幅と長さを計測し、該計測された幅と長さを前記判定条件と比較し、該判定条件を越えているとき有害なヘッド傷と判定することを特徴とする、磁気ディスクのヘッド傷検査方法。