感光性樹脂組成物およびそれを用いたドライフィルムレジスト

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-106138
公開番号（公開出願番号）：特開2003-302751
出願日： 2002年04月09日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：

【要約】【課題】感光性および難燃性をゆうし、充分な機械強度を有しつつ、耐熱性に優れ、更に加工性、接着性に優れた感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性ドライフィルムレジストを提供することを目的とする。【解決手段】(a)分子中に、ビニル基、アリル基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基から選ばれる重合性官能基を少なくとも1個有するホスファゼン化合物、(b)可溶性ポリイミド、c)炭素-炭素二重結合を有する化合物、(d)光反応開始剤を含有する感光性樹脂組成物を用いることにより、上記問題を解決することが出来る。

請求項（抜粋）：

a)分子中に、ビニル基、アリル基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基から選ばれる重合性官能基を少なくとも1個有するホスファゼン化合物、b)可溶性ポリイミドを必須成分とする感光性樹脂組成物。

IPC (10件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , C08F 2/44 , C08F283/00 , C08F290/10 , G03F 7/027 502 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 504 , G03F 7/075 511 , G03F 7/075 521

FI (10件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , C08F 2/44 C , C08F283/00 , C08F290/10 , G03F 7/027 502 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 504 , G03F 7/075 511 , G03F 7/075 521

Fターム (38件)：

2H025AA10 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC69 , 2H025CA01 , 2H025CA20 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CB25 , 2H025CC20 , 2H025EA08 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J011PA97 , 4J011SA21 , 4J011SA22 , 4J011SA31 , 4J011SA63 , 4J011SA64 , 4J011SA76 , 4J011SA84 , 4J026AB34 , 4J026BA41 , 4J026DA02 , 4J027AH03 , 4J027BA07 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA24 , 4J027BA27 , 4J027CB03 , 4J027CB10

引用特許：

審査官引用 (5件)

組成物とそれを用いた感光性組成物及びカバーレイフィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-191757 出願人：鐘淵化学工業株式会社
感光性ポリイミドシロキサン、組成物および絶縁膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-046122 出願人：宇部興産株式会社
難燃剤、及び難燃性樹脂組成物、及び成形物、及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-358220 出願人：大塚化学株式会社

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