特許

J-GLOBAL ID：200903045396543523

インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法並びにインクジェット式記録装置

発明者： 宮田 佳直 ,  酒井 真理
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-209431
公開番号（公開出願番号）：特開平11-091104
出願日： 1998年07月24日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】 共通電極としての下電極の作用を十分に確保しつつコンプライアンスを小さく抑えながら変位量を増大させ、吐出速度増大、駆動電圧低下を図ることができるインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】 弾性膜50上に下電極60、圧電体層70及び上電極80を含む圧電素子300を具備し、この圧電体層70及び上電極80は圧力発生室12に対向する領域毎に当該圧力発生室12に対向する領域外に及ぶことなく形成され、下電極60は各圧力発生室12に対向する領域の部分とこれらの領域の部分を互いに接続すると共に外部と接続する配線パターン部とが連続的に形成され、且つ圧力発生室12に対向する部分で圧電素子300が形成されていない部分の少なくとも一部以外は除去されている。

請求項（抜粋）：

ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を構成する弾性膜と、前記圧力発生室に対応する領域の前記弾性膜上に設けられ且つ下電極、圧電体層及び上電極を含む圧電素子とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電素子を構成する前記圧電体層及び前記上電極が、前記圧力発生室に対向する領域毎に且つ当該圧力発生室に対向する領域外に及ぶことなく形成され、前記下電極は前記各圧力発生室に対向する領域の部分とこれらの領域の部分を互いに接続すると共に外部と接続する配線パターン部とが連続的に形成され、且つ前記圧力発生室に対向する部分で前記圧電素子を構成する前記圧電体層が形成されていない部分の少なくとも一部以外は除去されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 液体噴射ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-201087   出願人：セイコーエプソン株式会社