照明装置及びこれを用いた線幅測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-191537
公開番号（公開出願番号）：特開平8-054216
出願日： 1994年08月15日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：

【要約】【目的】本発明は、対象物に対する観察項目に最適な照明を行う。【構成】金属反射物1の上方から拡散光を金属反射物1に照射する落射照明系10と、この落射照明系10による照明方向以外の金属反射物1の周囲方向から拡散光を金属反射物1に照射する周囲照明系15とを備え、落射照明系10によって金属反射物1の上方から拡散光を照射し、これと共に周囲照明系15によって落射照明系による照明方向以外の周囲方向から拡散光を照射する。

請求項（抜粋）：

対象物の上方から拡散光を前記対象物に照射する落射照明系と、この落射照明系による照明方向以外の前記対象物の周囲方向から拡散光を前記対象物に照射する周囲照明系と、を具備したことを特徴とする照明装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , F21V 13/04 , G01B 11/02

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開昭60-256004
特開昭61-187637
半導体チツプ選別装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-251588 出願人：株式会社東芝

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