特許

J-GLOBAL ID：200903045404463950

光照射装置

発明者： 上原 誠
出願人/特許権者： 株式会社目白プレシジョン
代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-283196
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090686
出願日： 2000年09月19日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】 被検査対象物の光-電気特性を検査する際に必要とされる均一な照度分布を有する光の照度面を、小型で低コストの光照射装置を用いて提供する。【解決手段】 光源と、光伝送系と、投影光学系とを有し、前記光伝送系は、前記光源からの光を入射して導く光ファイバー束とこの光ファイバー束からの出射光を入射して均一化して出射するオプティカルロッドとを有し、前記光ファイバー束は、光入射端に配置される個々の光ファイバーが出射端において、ランダムに配置換えすることによって、均一な照度分布を有する光の照度面を得る。

請求項（抜粋）：

光源と、この光源からの光のビーム断面の照度分布を均一にする光伝送系と、前記光伝送系からの光を被検査対象物に照射する投影光学系とを有し、前記光伝送系は、前記光源からの光を入射して導く光ファイバー束とこの光ファイバー束からの出射光を入射して均一化して出射するオプティカルロッドとを有し、前記光ファイバー束は、光入射端に配置される個々の光ファイバーが出射端において、ランダムに配置換えされたものであることを特徴とする光照射装置。

IPC (7件)：

G02B 27/00 ,  F21S 2/00 ,  F21V 8/00 ,  G02B 6/04 ,  G02B 26/02 ,  H01L 21/66 ,  H01L 27/14

FI (7件)：

F21V 8/00 M ,  G02B 6/04 E ,  G02B 26/02 B ,  H01L 21/66 X ,  G02B 27/00 V ,  F21S 1/00 F ,  H01L 27/14 Z

Fターム (22件)：

2H041AA03 ,  2H041AA04 ,  2H041AA08 ,  2H041AB01 ,  2H041AB07 ,  2H041AC04 ,  2H046AA03 ,  2H046AA31 ,  2H046AA48 ,  2H046AD00 ,  4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106BA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA17 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DH38 ,  4M106DH40 ,  4M118AA09 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10