特許
J-GLOBAL ID：200903045405892323
欠陥検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-208886
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075661
出願日： 1994年09月01日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】本発明は、複数の照明法を1つの光学系で実現でき、欠陥種別を正確に分類することができ、人間の目視観察による検査能力と同様の判断機能を実現することを目的とする。【構成】格子パターンが形成された被検体表面に照明光を照射して欠陥を検出する装置において、被検体表面に対して斜めの位置から被検体表面の所定の照明範囲に前記パターンと直交する方向の照明光を照射し被検体表面で発生した回折光を所定位置に収束させる照明光学系2と、照明光をけらない程度に前記被検体表面から離れた位置でかつ回折光の収束位置及び又は回折光の収束点以外の位置から前記照明範囲を撮影する画像入力手段3,4と、画像入力手段3,4から出力される回折光帯の画像信号を可視化する表示手段7とを具備して構成される。
請求項（抜粋）：
少なくとも一方向に連続する複数の直線が形成された被検体表面に照明光を照射して当該被検体の欠陥を検出する欠陥検出装置において、被検体表面に対して斜めの位置から被検体表面の所定の照明範囲に前記直線と直交する方向の照明光を照射し、被検体表面で発生した回折光を所定位置に収束させる照明光学系と、前記照明光をけらない程度に前記被検体表面から離れた位置であり、かつ前記回折光の収束位置及び又は回折光の収束点以外の位置から前記照明範囲を撮影する画像入力手段と、前記画像入力手段から出力される照明範囲の画像を可視化する表示手段とを具備したことを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G06T 1/00
, H01L 21/66
, G06T 7/00
G06F 15/64 320 C
, G06F 15/62 405 A
