特許

J-GLOBAL ID：200903045414180778

高周波誘導熱プラズマ発生方法および有機ハロゲン化合物の分解方法

発明者： 水野 光一 ,  大内 日出夫 ,  吉田 豊信 ,  朝倉 友美 ,  植松 信行 ,  天野 高伸 ,  小牧 久
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  東京大学長 ,  東京電力株式会社 ,  新日本製鐵株式会社 ,  日本電子株式会社
代理人 (2件)： 工業技術院資源環境技術総合研究所長 (外2名) ,  井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-227517
公開番号（公開出願番号）：特開平7-080287
出願日： 1993年09月13日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】 高価なアルゴンガスなどの消費量を極端に少なくできる高周波誘導熱プラズマ方法および有機ハロゲン化合物の分解方法を実現する。【構成】 誘導コイル4に供給する高周波電力を上昇させると同時に、バルブ13を開き、水蒸気ボイラー16からの水蒸気を配管8中に供給し、管2内に水蒸気を供給する。この水蒸気の供給とは逆にバルブ9を徐々に閉め、最終的にアルゴンガスを水蒸気に置換し、完全にバルブ9を閉じる。この結果、管2内に100%の水蒸気プラズマPを発生させることができる。アルゴンガスを水蒸気に置換することにともない、高周波電力は増加させられる。

請求項（抜粋）：

プラズマ発生用ガスが一端から供給される管と、管の外側に配置された高周波誘導コイルとを備え、管内でプラズマを発生させるようにした高周波誘導熱プラズマ装置における高周波誘導プラズマ発生方法であって、最初に第1のプラズマガスを管内に供給してプラズマを発生させ、第1のプラズマガスの量を少なくさせつつそれに代えて水蒸気を供給すると共に、水蒸気の量を増加させる際に誘導コイルに供給する高周波電力を増加させ、第1のプラズマガスよりも水蒸気が過剰のプラズマを生成するようにした高周波誘導熱プラズマ発生方法。

IPC (3件)：

B01J 19/08 ,  A62D 3/00 ZAB ,  H05H 1/42

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平2-100677
  
• 特開平4-279179
  
• 特開平3-090172