特許
J-GLOBAL ID:200903045425837582

X線撮像素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柏谷 昭司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-308928
公開番号(公開出願番号):特開平5-152597
出願日: 1991年11月25日
公開日(公表日): 1993年06月18日
要約:
【要約】【目的】 X線を可視化して撮像するためのX線撮像素子に関し、充分な感度と分解能を持ち、小型で、安価なX線撮像素子を提供する。【構成】 撮像素子の撮像面の各光電変換領域2の上にX線蛍光材料層4を直接形成した。この場合、撮像面をCCD1,2にすることができ、また、各光電変換領域2、あるいは、X線蛍光材料層4の回りに光やX線を吸収する金属製の壁を配置して隣接する光電変換領域からX線あるいは蛍光が混入するのを防いで分解能を向上することができる。
請求項(抜粋):
撮像素子の撮像面の各光電変換領域上にX線蛍光材料層を直接形成したことを特徴とするX線撮像素子。
IPC (2件):
H01L 31/09 ,  H01L 27/14
FI (2件):
H01L 31/00 A ,  H01L 27/14 K

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