特許
J-GLOBAL ID:200903045439801130
積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-099918
公開番号(公開出願番号):特開平8-274381
出願日: 1995年03月31日
公開日(公表日): 1996年10月18日
要約:
【要約】【目的】本発明の目的は、圧電セラミックスと内部電極が交互に積層され、内部電極が外部電極と一層おきに接続される積層型圧電アクチュエータにおいて、電圧印加時内部電極付近に発生する応力を緩和し、耐久性のある積層圧電アクチュエータを提供することにある。【構成】内部電極層間の内部電極が重ならない部分に応力緩和部を設けたことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
請求項(抜粋):
圧電セラミックス層と内部電極が交互に積層され、内部電極が外部電極と一層おきに接続される積層型圧電アクチュエータにおいて、上記内部電極間に応力緩和部を設けたことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
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