特許
J-GLOBAL ID:200903045440610829

固体撮像装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-310597
公開番号(公開出願番号):特開平6-163864
出願日: 1992年11月19日
公開日(公表日): 1994年06月10日
要約:
【要約】【目的】 隣合うマイクロレンズ間のギャップに入射する光を有効に利用することができ、検出感度の高い固体撮像装置を提供すること。【構成】 半導体基板1上に画素電極2及び光導電膜(光電変換層)3からなる感光部が配列形成され、この感光部の上部に該感光部に開口部を持つ遮光層5が形成され、この遮光層5の開口部に光を集光するマイクロレンズ9が形成された固体撮像装置において、遮光層5の開口部の中心に対してマイクロレンズ9の中心を実質的にずらして配置し、隣接するマイクロレンズ9間のギャップを通る光を感光部に入射させることを特徴とする。
請求項(抜粋):
半導体基板又は光導電体膜に感光部が配列形成され、これらの感光部の上部に該感光部に対する開口部を持つ遮光層が形成され、この遮光層の開口部に光を集光するマイクロレンズが形成された固体撮像装置において、前記遮光層の開口部の中心に対し前記マイクロレンズの中心を実質的にずらして配置し、隣接するマイクロレンズ間のギャップを通る光を前記感光部に入射せしめることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (3件):
H01L 27/14 ,  G01J 1/04 ,  G02B 3/00

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