特許
J-GLOBAL ID：200903045451476890

電極基板およびその製造方法

発明者：
木村 幸弘

木村 幸弘 について

, 
今吉 孝二

今吉 孝二 について

, 
福吉 健蔵

福吉 健蔵 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-327187
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147540
出願日： 1998年11月17日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】高い信頼性(耐久性)を有しエッチング性が良く、かつ、低コストで量産性に優れた、銀系薄膜を酸化物薄膜にて挟持した多層構成の積層膜を有する電極基板を提供する。【解決手段】基板上に少なくとも、下側酸化物層、銀系薄膜および上側酸化物層を順次積層した積層膜を配設した電極基板において、下側酸化物層を、酸化セリウムを主材とし、これに酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ、酸化ハフニウム、酸化タンタル、および酸化タングステンのうちから選ばれた1種類以上の酸化物を混合した混合酸化物とすることを特徴とする電極基板。
請求項（抜粋）：
基板上に少なくとも、下側酸化物層、銀系薄膜および上側酸化物層を順次積層した積層膜を配設した電極基板において、下側酸化物層を、酸化セリウムを主材とし、これに酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ、酸化ハフニウム、酸化タンタル、および酸化タングステンのうちから選ばれた1種類以上の酸化物を混合した混合酸化物とすることを特徴とする電極基板。
IPC (5件)：
G02F 1/1343 ,  G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/30 336 ,  H01M 14/00 ,  H05B 33/26
FI (5件)：
G02F 1/1343 ,  G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/30 336 ,  H01M 14/00 P ,  H05B 33/26 Z
Fターム (45件)：
2H090HA04 ,  2H090HB02X ,  2H090HC03 ,  2H090HC16 ,  2H090HC17 ,  2H090HC18 ,  2H090HD02 ,  2H090JC17 ,  2H090JD10 ,  2H090LA03 ,  2H092GA05 ,  2H092HA05 ,  2H092MA05 ,  2H092NA18 ,  2H092NA25 ,  2H092PA03 ,  3K007AB00 ,  3K007AB15 ,  3K007AB18 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007CB04 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  5C094AA15 ,  5C094AA31 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA46 ,  5C094AA60 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094EA00 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094ED02 ,  5C094GB10 ,  5H032AA06 ,  5H032AS16 ,  5H032BB00 ,  5H032BB05 ,  5H032EE02 ,  5H032HH01 ,  5H032HH04 ,  5H032HH07
引用特許：
審査官引用 (5件)
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