特許

J-GLOBAL ID：200903045455260018

光起電力装置

発明者： 丸山 英治 ,  山本 武志
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-090563
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284611
出願日： 2000年03月29日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：

【要約】【課題】 この発明は、安価で高い変換効率を有する光起電力装置を得ることを目的とする。【解決手段】 表面にエッチングにより凹凸が形成された透明導電膜2上に内部に半導体接合を有する非晶質薄膜半導体層と裏面金属膜とがこの順序で形成された光起電力装置であって、透明導電膜2は、前記半導体層と接する側から第1透明導電膜層21とエッチングストッパとなる薄膜金属層22と第2透明導電膜層23との多層構造で形成されている。エッチングが薄膜金属層22により停止することを利用して最表面の第1透明導電膜21の膜厚により深さ方向の凹凸の大きさが制御される。

請求項（抜粋）：

表面にエッチングにより凹凸が形成された透明導電膜上に内部に半導体接合を有する非晶質薄膜半導体層と裏面金属膜とがこの順序で形成された光起電力装置であって、前記透明導電膜は、前記半導体層と接する側から透明導電膜層とエッチングストッパとなる薄膜金属層と透明導電膜層との多層構造で形成されていることを特徴とする光起電力装置。

Fターム (6件)：

5F051AA09 ,  5F051FA02 ,  5F051FA06 ,  5F051FA18 ,  5F051FA19 ,  5F051GA03