純水の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：山下亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-204187
公開番号（公開出願番号）：特開平6-047384
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：

【要約】【目的】設備の大型化やランニングコストの高騰を招くことなく、溶存酸素やTOC等の不純物を効率良く除去して高純度の純水を製造することができる方法を提供すること。【構成】純水にヒドラジン(還元剤)6を添加した後、UV照射装置4にて紫外線を照射して酸化還元反応を促進せしめることによって、純水中の溶存酸素を除去する工程を、純水の製造工程に組み込む。又、純水にヒドラジン(還元剤)6を添加した後、紫外線を照射することによって生成された、ヒドラジン6と純水中の溶存酸素及び有機物とのイオン性反応物質を混床型イオン交換塔5の陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂で除去する工程を、純水の製造工程に組み込む。

請求項（抜粋）：