特許

J-GLOBAL ID：200903045461054195

半導体製造工場における処理装置選択支援システム

発明者： 伊野部 隆昌
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-308391
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161593
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】 任意のロットの処理を行うことのできる処理装置を、複数台の中から選択する場合に、容易かつ誤り無く選択できるようにする。その判断の助けとなる情報を表示して作業者に提供する。【構成】 半導体製造ロット毎に装備されICカード4の情報を,ICカードリーダライタで読み取って、カードの情報を基にして当該ロットの処理が可能な処理装置1を多数の処理装置1の中から検索し、検索した処理装置1の情報を、端末機器7の画面に表示するように構成した。

請求項（抜粋）：

半導体製造ロット毎に装備されロット固有の情報を記憶したカードと、該カードの情報を読み取るカード情報読み取り手段と、前記カードの情報を基にして当該ロットの処理が可能な処理装置を複数の処理装置の中から検索する検索手段と、その検索した処理装置の情報を画面に表示する表示手段とを備えた半導体製造工場における処理装置選択支援システム。