特許

J-GLOBAL ID：200903045462230310

ハウジングの中のモノリシック多層アクチュエータ

発明者： ライナー ビンディヒ ,  ハンス-ユルゲン シュライナー ,  マティアス ジンメール ,  ユルゲン シュミーダー ,  ティロ シュタイヒェレ
出願人/特許権者： セラムテック アクチエンゲゼルシャフト イノヴェイティヴ セラミック エンジニアリング
代理人 (5件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-514637
公開番号（公開出願番号）：特表2004-535688
出願日： 2002年06月28日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

本発明は圧電セラミックから成る薄膜の焼結したスタックから成るモノリシック多層アクチュエータであって、金属製の内部電極が埋め込まれており、接続ワイヤ(5)が設けられており、前記金属製内部電極が、前記スタックから交互に外部へ通じており且つ外部電極(3,4)を介して電気的に並列接続されている形式のモノリシック多層アクチュエータに関する。アクチュエータの特性を変化させずに、アクチュエータに長期間にわたって定格電圧を印加できるように、アクチュエータは金属製又はセラミック製のハウジング(8,11,16)により密閉包囲されており、接続ワイヤ(5)はハウジング底板(11)に一体形成された構成部分であり、ハウジング(8,11,16)は吸水性媒質(14)と電気的に絶縁性の水分輸送媒質(15)とで満たされるようにすることが提案される。

請求項（抜粋）：

圧電セラミックから成る薄膜の焼結したスタックから成るモノリシック多層アクチュエータ(1)であって、 金属製の内部電極が埋め込まれており、接続ワイヤ(5)が設けられており、前記金属製内部電極が、前記スタックから交互に外部へ通じており且つ外部電極を介して電気的に並列接続されている形式のモノリシック多層アクチュエータ(1)において、 前記多層アクチュエータ(1)は金属製又はセラミック製のハウジング(8,11,16)により密閉包囲されており、前記接続ワイヤ(5)はハウジング底板(11)に一体形成された構成部分であり、前記ハウジング(8,11,16)は吸水性媒質(14)と電気的に絶縁性の水分輸送媒質(15)とで満たされている、ことを特徴とするモノリシック多層アクチュエータ。

IPC (4件)：

H01L41/083 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H02N2/00

FI (4件)：

H01L41/08 R ,  H02N2/00 B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-349675
  
• 積層型電気・歪変換素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-256341   出願人：株式会社ニコン
• 圧電アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-134465   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 圧電アクチュエータの外装構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-327452   出願人：関西日本電気株式会社