特許

J-GLOBAL ID：200903045469907901

石英系ミラー導波路の製造方法

発明者： 大山 功 ,  植木 健 ,  中村 史朗 ,  清水 健男 ,  柳川 久治
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-028009
公開番号（公開出願番号）：特開平5-224054
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】 ミラーの配置精度が高い石英系ミラー導波路の製造方法を提供する。【構成】 上面にマスク層10が形成されている石英系クラッドの中に埋設された石英系折返し導波路4の折返し部4aに、ミラー形成用の目合わせパターン6,6を基準にしてミラーを形成するに際し、前記マスク層10のうち前記目合わせパターンの直上の部分14’,14’のみがマスク未形成の状態でエッチング処理を行なってミラー用スリットを形成し、ついで、前記ミラー用スリットにミラー用材料を被着させてミラーを形成する。【効果】 目合わせパターンの直上には高反射材のマスク層は存在しないので、そこから目合わせパターンを視認することが容易であり、位置合わせを高精度で行うことができる。

請求項（抜粋）：

上面にマスク層が形成されている石英系クラッドの中に埋設された石英系折返し導波路の折返し部に、ミラー形成用の目合わせパターンを基準にしてミラーを形成するに際し、前記マスク層のうち前記目合わせパターンの直上の部分のみがマスク層未形成の状態でエッチング処理を行なってミラー用スリットを形成し、ついで、前記ミラー用スリットにミラー用材料を被着させてミラーを形成することを特徴とする石英系ミラー導波路の製造方法。