基板位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大菅義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-036197
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233599
出願日： 1997年02月20日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】基板を撓みなく正しく位置決めを行う基板位置決め装置を提供する。【解決手段】本体装置内に基板60を搬入して定位置に停止させた後、テーブル上下動シリンダ41を上昇駆動して位置決めテーブル37と共に基板支持ピン42及びクランプ部材43a、43bを上昇させる。基板支持ピン42は基板60下面を支持すべき位置に停止し、クランプ部材43a及び43bは天板34a及び34bとで基板60の両側部を把持する。基板牽引シリンダ33を進出駆動して可動フレーム32を固定の基板案内レール23aから離隔する方向へ付勢し、クランプ部材43b及び天板34bにより基板60の側部を幅出し方向に緊張させ、基板60を平らに矯正して位置決めする。

請求項（抜粋）：

基板の両側縁を夫々把持する把持手段と、前記基板の撓みを矯正すべく前記把持手段を基板の幅出し方向に付勢する付勢手段と、を備えたことを特徴とする基板位置決め装置。

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