特許

J-GLOBAL ID：200903045472321799

樹脂被覆装置及び樹脂供給用ノズル

発明者： 鈴木 理恵
出願人/特許権者： 関西日本電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-285102
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135253
出願日： 1996年10月28日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 シリンジ方式では、ノズルの径を拡げても、樹脂のはみ出しなどの問題があり、スクリーン印刷法では、被塗布物の塗布パターンが変わるとマスクを交換しなければならないという問題があった。【解決手段】 液状樹脂を供給して被塗布物3上の所定領域を樹脂にて被覆する樹脂被覆装置の樹脂供給ノズル8を長穴状に開口させ、この開口部8aの短径方向に相対移動させるようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被塗布物に対して相対移動するノズルより液状樹脂を供給して被塗布物上の所定領域を樹脂にて被覆する樹脂被覆装置において、上記ノズルは長穴状開口部を有し、ノズルの相対移動方向を開口部の短径方向に設定したことを特徴とする樹脂被覆装置。

IPC (3件)：

H01L 21/56 ,  B05B 1/00 ,  H01L 21/60 311

FI (3件)：

H01L 21/56 E ,  B05B 1/00 Z ,  H01L 21/60 311 Z