特許
J-GLOBAL ID：200903045473778571
検査条件データ作成支援プログラム及び検査装置及び検査条件データ作成方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-340278
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177139
出願日： 2002年11月25日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：
【課題】基板が有する異物やパターン異常などの欠陥の位置を検出する検査装置の検査条件データを、短時間で作成する検査条件データ作成支援プログラムを提供する。【解決手段】レビュー結果表示欄5にて、欠陥候補をレビューし、欠陥か疑似欠陥か判定した結果を入力する。ウエハマップ2、チップマップ4、欠陥特徴量分布表示欄7には欠陥と疑似欠陥が区別された記号で表示される。欠陥群と疑似欠陥群の特徴量の分布より、変更推奨パラメータを算出する。また、変更推奨値を算出する。【効果】検査条件データの作成時間を短縮し、検査装置の稼働時間増加、検査頻度向上を図ることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板が有する異物ないしはパターン異常などの複数の欠陥の位置を検出する検査装置の検出条件データを作成するために実行するプログラムであって、
該検査で検出した各欠陥候補の座標と、該座標に対応する1つ以上の特徴量とを入力するステップと、
該欠陥候補毎に、欠陥であるか擬似欠陥であるかの判定結果を入力し、欠陥候補群を欠陥群と擬似欠陥群に分類するステップと、
該特徴量の1項目を一方の軸とし、他方を座標軸とした2次元散布図に、該欠陥候補毎に該欠陥ないしは該擬似欠陥を異なる記号でプロットして出力するステップと
を有することを特徴とする検出条件データ作成支援プログラム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/956 A
, H01L21/66 J
2G051AA51
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051CA04
, 2G051EA08
, 2G051EA14
, 2G051EB02
, 2G051EC01
, 2G051EC02
, 2G051FA01
, 4M106AA01
, 4M106CA42
, 4M106CA43
, 4M106DJ23
, 4M106DJ26
