ウェーハプローバ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-050916
公開番号（公開出願番号）：特開平8-250558
出願日： 1995年03月10日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】高速高精度の位置決め制御性に優れると共に、クリーンルーム設置に適したウェーハプローバを提供する。【構成】検査対象となるウェーハを検査用テーブル16の上面に吸着保持し、該検査用テーブル16をリニア同期モータ52、60によって、X-Y方向に水平移動させることにより、ウェーハの検査位置を変更・調整している。リニア同期モータ52、60は、直線方向の推進動力をダイレクトに発生・伝達することができるため、従来の回転型モータ及びボールネジから成る駆動伝達機構に比べて剛性が高く、高速応答制御が可能となる。また、リニア同期モータは回転型モータの場合に比べて、薄型に構成でき、可動質量中心と駆動中心とを近づけることができ、偶力による姿勢変化が低減され、位置決め精度と高速追従性とが向上する。更に、リニア同期モータはボールネジのような消耗がなく給油も不要なため、メンテナンス性にも優れ、クリーンな環境での使用に適している。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハ上に形成された電気素子回路の品質を検査するウェーハプローバにおいて、検査対象のウェーハを吸着保持する検査用テーブルと、前記検査用テーブルをX軸方向に水平移動させる第1のリニア同期モータと、前記検査用テーブルをY軸方向に水平移動させる第2のリニア同期モータと、を備えたことを特徴とするウェーハプローバ。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01R 1/06 , G01R 31/26

FI (3件)：

H01L 21/66 B , G01R 1/06 E , G01R 31/26 J

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平1-216120
特開平4-181198
精密位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-310282 出願人：キヤノン株式会社

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