ネガ型フォトレジスト組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：羽鳥修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-247408
公開番号（公開出願番号）：特開平9-090633
出願日： 1995年09月26日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】高解像性で良好なレジストパターンを形成することのできる高感度のネガ型フォトレジスト組成物の提供。【解決手段】 ?@アルカリ可溶性樹脂、?A酸架橋性化合物および?B下記〔化1〕の一般式(I)で表されるカルバゾリルトリアジン化合物を含有するネガ型フォトレジスト組成物。【化1】

請求項（抜粋）：

?@アルカリ可溶性樹脂、?A酸架橋性化合物および?B下記〔化1〕の一般式(I)で表されるカルバゾリルトリアジン化合物を含有するネガ型フォトレジスト組成物。【化1】

IPC (3件)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 503 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (7件)

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