特許
J-GLOBAL ID：200903045498833291
レジスト用剥離液組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-032817
公開番号（公開出願番号）：特開平8-202052
出願日： 1995年01月31日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【構成】フッ化水素酸、フッ化アンモニウム、水溶性有機溶媒、及び防食剤を含有するレジスト剥離液組成物。【効果】本発明のレジスト剥離液組成物は、過酷な処理条件で変質したレジスト膜であっても低温(室温)、短時間で良好に剥離することができるとともに、腐食され易いAl、Al-Si、Al-Si-Cu等の基板を腐食することがない。
請求項（抜粋）：
フッ化水素酸、水溶性有機溶媒、及び防食剤を含有することを特徴とするレジスト用剥離液組成物。
IPC (2件)：
引用特許：
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