特許
J-GLOBAL ID：200903045499027663
ウェハ貼着用粘着シートおよびウェハダイシング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-321836
公開番号（公開出願番号）：特開平5-156214
出願日： 1991年12月05日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：
【要約】【構成】 ウェハダイシング用粘着テープにおいて、基材フィルムとして、エチレン・メチルメタアクリレート共重合体フィルムを用いる。【効果】 ウェハダイシング時に発生するダイシング屑の量を低減させることができる。
請求項（抜粋）：
基材フィルムと粘着剤層とからなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、基材フィルムが、エチレン・メチルメタアクリレート共重合体フィルムであることを特徴とするウェハ貼着用粘着シート。
IPC (3件)：
C09J 7/02 JHU
, C09J 7/02 JLE
, H01L 21/78
