特許

J-GLOBAL ID：200903045501962863

情報処理装置

発明者： 安福 祐次
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-356735
公開番号（公開出願番号）：特開2004-193208
出願日： 2002年12月09日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

【課題】露光処理にかかる作業を効率化すること。【解決手段】本発明は、露光装置を制御するためのパラメータ情報を処理する情報処理装置に係り、前記パラメータ情報に基づいて、所定の画像表示手段に適合したフォーマットに適合するように、前記フォーマットで画像を表示するための画像表示情報を生成する画像表示情報生成部611と、前記パラメータ情報を前記フォーマットに変換する変換部612と、前記フォーマットに変換された前記パラメータ情報を前記画像表示情報に追加する追加部613と、を備えることを特徴とする。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

露光装置を制御するためのパラメータ情報を処理する情報処理装置であって、 前記パラメータ情報に基づいて、所定の画像表示手段に適合したフォーマットに適合するように、前記フォーマットで画像を表示するための画像表示情報を生成する画像表示情報生成部と、 前記パラメータ情報を前記フォーマットに変換する変換部と、 前記フォーマットに変換された前記パラメータ情報を前記画像表示情報に追加する追加部と、 を備えることを特徴とする情報処理装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (2件)：

H01L21/30 502G ,  G03F7/20 521

Fターム (5件)：

5F046BA03 ,  5F046DA30 ,  5F046DD01 ,  5F046DD03 ,  5F046DD04