特許

J-GLOBAL ID：200903045502512802

表面状態観察装置

発明者： 杉山 喜和 ,  兼松 えりか
出願人/特許権者： 株式会社ニコン ,  株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-005658
公開番号（公開出願番号）：特開2002-208369
出願日： 2001年01月12日
公開日（公表日）： 2002年07月26日
要約：

【要約】【課題】 二次光学系に歪曲収差が残存する場合であっても装置の大型化を招かずに高分解能で観察することができる表面状態観察装置を提供する。【解決手段】 一次電子ビームを試料に照射する一次光学系と、一次電子ビームを試料に照射して得られる二次電子ビームを集束する二次光学系と、二次光学系を介した二次ビームの光学像を撮像する撮像素子とを備えた表面状態観察装置であって、撮像素子が備える画素C1〜C1024を二次光学系の歪曲収差に応じて配列することにより、二次光学系において生ずる歪曲収差を補正する。

請求項（抜粋）：

一次ビームを物体表面上に照射する一次光学系と、前記一次ビームを前記物体表面に照射して得られる二次ビームを集束する二次光学系と、当該二次光学系を介した二次ビームを検出する検出手段とを備えた表面状態観察装置であって、前記二次光学系の光学特性に起因して前記検出手段の検出面で生ずる歪曲収差に応じた補正を行う補正手段を備えることを特徴とする表面状態観察装置。

IPC (7件)：

H01J 37/153 ,  G01B 15/00 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/29 ,  H01L 21/66

FI (7件)：

H01J 37/153 Z ,  G01B 15/00 B ,  H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28 B ,  H01J 37/29 ,  H01L 21/66 J

Fターム (38件)：

2F067AA33 ,  2F067AA53 ,  2F067AA54 ,  2F067BB04 ,  2F067CC17 ,  2F067EE04 ,  2F067HH04 ,  2F067HH06 ,  2F067HH08 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067LL02 ,  2F067LL16 ,  2F067PP12 ,  2F067RR35 ,  2F067SS13 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB05 ,  4M106DB12 ,  4M106DB14 ,  4M106DB20 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ21 ,  5C033JJ05 ,  5C033JJ07 ,  5C033NN01 ,  5C033NP01 ,  5C033NP05 ,  5C033NP06 ,  5C033NP08 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05