特許
J-GLOBAL ID:200903045503224525
エアスピンドル
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
前田 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-168046
公開番号(公開出願番号):特開2002-369445
出願日: 2001年06月04日
公開日(公表日): 2002年12月20日
要約:
【要約】【課題】 ディスクやディスクヘッドの検査装置等に用いられるエアスピンドルにおいて、回転の振動を低減する。【解決手段】 回転軸2の上端にはターンテーブル3が設けられている。回転軸2における回転モータ22とエンコーダ25との間の位置には、カウンタテーブル53が設けられている。ターンテーブル3およびカウンタテーブル53のそれぞれには、回転の釣合状態を調整するバランス調整機構が設けられている。
請求項(抜粋):
回転モータと、当該回転モータに固定された回転軸と、当該回転軸よりも大径の円板からなり前記回転軸を支持するスラスト気体軸受が設けられたスラストカラーと、前記回転軸の上端部に固定され、回転対象物を支持または保持する回転台と、前記回転軸に固定された1または2以上の回転板とを備え、前記回転台、前記スラストカラーおよび前記回転板のうちの少なくとも2つには、回転の不釣合を是正するためのバランス調整手段がそれぞれ設けられているエアスピンドル。
IPC (5件):
H02K 7/08
, F16C 32/06
, F16F 15/34
, G11B 19/20
, H02K 15/16
FI (5件):
H02K 7/08 A
, F16C 32/06 Z
, G11B 19/20 E
, H02K 15/16 A
, F16F 15/32 A
Fターム (33件):
3J102AA02
, 3J102BA03
, 3J102BA17
, 3J102BA18
, 3J102CA02
, 3J102CA32
, 3J102EA02
, 3J102EA06
, 3J102EA30
, 3J102GA03
, 5D109BB05
, 5D109BB20
, 5D109DA20
, 5H607AA04
, 5H607BB01
, 5H607BB07
, 5H607BB09
, 5H607BB14
, 5H607CC01
, 5H607DD02
, 5H607DD03
, 5H607EE40
, 5H607FF12
, 5H607GG01
, 5H607GG02
, 5H607GG14
, 5H615AA01
, 5H615BB01
, 5H615BB07
, 5H615PP02
, 5H615PP06
, 5H615SS08
, 5H615SS54
引用特許:
前のページに戻る