特許
J-GLOBAL ID：200903045503229411
周波数安定化高出力レーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-064387
公開番号（公開出願番号）：特開平5-218537
出願日： 1992年02月04日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 本発明は縦モードが3本以上の高出力気体レーザの発振周波数の安定化を行うことを目的とする。【構成】 複数の縦モードを持つレーザ1の発振光の縦モード間の光ビートと、GHz帯発振器4の出力をミキサー5に入力し、該ミキサーの出力の周波数や平均電力その他、共振器長が半波長変化するごとに周期的に変化する量を用い、該量が一定になるように共振器長を制御することにより高出力レーザの周波数安定化を行う。
請求項（抜粋）：
複数個の縦モードを有する気体レーザにおいて、該レーザのレーザ出力光の一部を、高周波特性を持つ検知器で検知して得られる該レーザの縦モード間で発生する高周波光ビート電気信号と、該電気信号の周波数の近傍に発振周波数を有する高周波発振器の発する基準周波数電気信号を高周波ミキサーの信号ならびに参照入力端子に入力し、その結果高周波ミキサーの出力として得られる前記光ビート電気信号と、前記基準周波電気信号の差の周波数ならびに位相を有する混合電気信号を求め、該混合電気信号の周波数あるいは平均電力量等の値が一定の値となるごとく前記レーザの共振器の長さを制御することを特徴とする安定化レーザ装置。
IPC (2件)：
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