特許

J-GLOBAL ID：200903045507241041

圧電薄膜素子及びそれを用いたインクジェットヘッド並びに圧電薄膜の製造方法

発明者： 神野 伊策 ,  鎌田 健 ,  鳥井 秀雄
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-110957
公開番号（公開出願番号）：特開2002-307690
出願日： 2001年04月10日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 圧電定数の大きな圧電材料を用いた、たわみ量の大きい圧電薄膜素子を提供する。【解決手段】 基板2上に少なくとも振動板3と、下部電極4と、結晶構造がペロブスカイト型からなり化学組成がxPb(AαNbβ)O<SB>3</SB>+yPbZrO<SB>3</SB>+zPbTiO<SB>3</SB>である圧電薄膜5と、上部電極6を有する圧電薄膜素子1。ただし、Aはマグネシウム、ニッケル、亜鉛の群から選ばれた少なくとも1種類の元素、1/6<α<1/2、α+β=1で、x、y、zはx+y+z=1を満たすモル比である。

請求項（抜粋）：

基板上に少なくとも振動板と、下部電極と、結晶構造がペロブスカイト型からなり化学組成がxPb(AαNbβ)O<SB>3</SB>+yPbZrO<SB>3</SB>+zPbTiO<SB>3</SB>である圧電薄膜と、上部電極とを有する圧電薄膜素子。ただし、Aはマグネシウム、ニッケル、亜鉛の群から選ばれた少なくとも1種類の元素、1/6<α<1/2、α+β=1で、x、y、zはx+y+z=1を満たすモル比である。

IPC (7件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  C23C 14/08 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (7件)：

C23C 14/08 K ,  B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/22 Z

Fターム (20件)：

2C057AF03 ,  2C057AF93 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA50 ,  4K029BB07 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC16 ,  4K029DC35 ,  4K029GA01