特許

J-GLOBAL ID：200903045511293277

研磨粒子および研磨体

発明者： 澤木 裕子 ,  岸本 幹雄
出願人/特許権者： 日立マクセル株式会社
代理人 (1件)： 折寄 武士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-242263
公開番号（公開出願番号）：特開2003-049158
出願日： 2001年08月09日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：

【要約】【課題】 光コネクタなどの研磨用として、従来のダイヤモンド粒子に代わる、安価でかつすぐれた研磨能を有する研磨粒子を提供する。【解決手段】 粒子の形状が板状で、粒子板面方向の平均粒子径が10nmから1,000nmの範囲にあり、かつ50%以上の粒子が板厚方向に孔を有する金属酸化物粒子からなることを特徴とする研磨粒子。

請求項（抜粋）：

粒子の形状が板状で、粒子板面方向の平均粒子径が10nmから1,000nmの範囲にあり、かつ50%以上の粒子が板厚方向に孔を有する金属酸化物粒子からなることを特徴とする研磨粒子。

IPC (4件)：

C09K 3/14 550 ,  B24D 3/00 330 ,  B24D 11/00 ,  G02B 6/00 335

FI (4件)：

C09K 3/14 550 D ,  B24D 3/00 330 E ,  B24D 11/00 B ,  G02B 6/00 335

Fターム (9件)：

2H038CA22 ,  3C063AA03 ,  3C063AB07 ,  3C063BB01 ,  3C063BB06 ,  3C063BC03 ,  3C063BG08 ,  3C063BG22 ,  3C063EE01