圧電振動子

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-073156
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235687
出願日： 1992年02月25日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【構成】支持部1と振動部分2とが一体構造を有し、振動部分の厚さが支持部の厚さよりも薄くするか、あるいは、振動部分2の表面のあらさと支持部1の表面のあらさとが異なる。【効果】振動部分の厚さが非常に薄い振動子が可能となり、従来はオーバートーンに頼らざるを得なかった高い周波数も、基本波を用いて高い周波数を得ることが可能となる。そして、振動部分の厚さが非常に薄いにもかかわらず、振動部分の周囲の厚さが厚いため、圧電振動子の取扱いが容易となる。また、振動部分の周囲に支持部を有する振動子の形状にもかかわらず、振動部分の表面あらさおよび振動部分の加工ひずみを減少させることが可能となり、その結果、周波数の経時変化が小さくなり、品質向上に貢献しうる。

請求項（抜粋）：