特許

J-GLOBAL ID：200903045513969561

レーザ加工装置

発明者： 石原 弘一 ,  高田 龍一郎
出願人/特許権者： 三洋機工株式会社
代理人 (1件)： 江原 省吾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-057275
公開番号（公開出願番号）：特開平9-248684
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】 高周波数の揺動が可能で、ガタや摩耗が少なくて耐久信頼性の高い揺動機構を備えたレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 被加工物13の表面にレーザ光10を照射して加工を行なうレーザ加工装置において、圧電素子を用いたアクチュエータで光学系を揺動させることにより、加工ライン14を横切る方向または加工ライン14と平行にレーザ光10の集光位置を往復移動させる。

請求項（抜粋）：

被加工物の表面にレーザ光を照射して加工を行なうレーザ加工装置において、圧電素子を用いたアクチュエータで光学系を揺動させることを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (5件)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/08 ,  G02B 26/10 101 ,  G02B 26/10 105 ,  H02N 2/00

FI (5件)：

B23K 26/06 A ,  B23K 26/08 B ,  G02B 26/10 101 ,  G02B 26/10 105 Z ,  H02N 2/00 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• レーザ加工装置用手首構造、およびそれを用いたレーザ加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-113231   出願人：三菱電機株式会社
• 特開昭63-177991
  
• 特開平3-027890
  
• 特開平4-327391