単結晶の引き上げ装置および落下防止装置およびこれらの方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-000104
公開番号（公開出願番号）：特開平11-199372
出願日： 1998年01月05日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：

【要約】【課題】ワイヤの伸びをバランスよく補正するための微妙な巻き取り制御や、調心機構の追加の必要をなくするとともに、高い建屋を必要とせず、長大で外径の大きいベローズを不要とすることで、コストの低減を図るとともに、装置のコンパクト化、建屋のコンパクト化を図る。【解決手段】第1の昇降手段13によって、種子結晶12を把持する種子結晶把持部材11が、種子結晶12が融液5に接触する融液接触位置まで下降される。そして、第1の昇降手段13によって、種子結晶把持部材11が、少なくとも、融液接触位置から単結晶6に被係合部8が形成される被係合部形成位置までのストロークの間だけ上昇される。ここで、第2の昇降手段20によって、1本の索状体15によって吊り下げられ、被係合部8に係合され得る係合部材17が、被係合部形成位置まで被係合部8に係合するよう下降される。そして、第2の昇降手段20によって、この被係合部形成位置から単結晶6の引き上げ終了位置までのストロークの間まで、1本の索状体15を巻き上げることにより係合部材15が上昇される。

請求項（抜粋）：

融液に種子結晶を接触させてから前記種子結晶を前記融液から引き上げることによって単結晶を成長させる際に使用される単結晶の引き上げ装置において、前記種子結晶を把持する種子結晶把持部材を、昇降させる第1の昇降手段と、1本の索状体によって吊り下げられ、前記単結晶の被係合部に係合され得る係合部材を、前記1本の索状体を巻き上げまたは巻き下げることにより昇降させる第2の昇降手段とを具えた単結晶の引き上げ装置。

IPC (3件)：

C30B 15/30 , C30B 15/32 , C30B 29/06 502

FI (3件)：

C30B 15/30 , C30B 15/32 , C30B 29/06 502 F

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