特許
J-GLOBAL ID：200903045520674577
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-245725
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083494
出願日： 1997年09月10日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 角速度検出精度の向上。角速度が加わっていないときの角速度信号の偏倚を抑制。z方向加速度による検出誤差の低減。【解決手段】 y方向に延びる第1の梁17により基板1にx方向には可動にy方向には不動に支持された第1可動体2;x方向に延びる第2の梁19により基板1にy方向には可動にx方向には不動に支持された第2可動体3;第1可動体(2)に対してはx方向に延びる第3の梁16により第1可動体2に連結され、第2の梁19よりx方向に分岐した第4の梁18に連結した、x,y方向に可動の第3可動体4;第1可動体2をx方向に振動駆動する励振手段6,7,31;第2可動体3のy方向変位を検出する手段9〜11,32;および、該変位検出手段が発生する変位信号を角速度信号に変換する手段33;を備える。
請求項（抜粋）：
基板;x方向のみに変位可能な第1の梁により前記基板にx方向には可動に、y方向には実質上不動に支持された第1可動体;y方向のみ変位可能な第2の梁により前記基板にy方向には可動に、x方向には実質上不動に支持された第2可動体;第1可動体に対してはy方のみに変位可能な第3の梁により第1可動体に連結され、第2の梁より分岐し分岐点に対してx方向のみ変位可能な第4の梁に連結した、x,y方向に可動な第3可動体;第1可動体をx方向に振動駆動する励振手段;第2可動体のy方向変位を検出する変位検出手段;および、該変位検出手段が発生する変位信号を角速度信号に変換する変換手段;を備える角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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