特許

J-GLOBAL ID：200903045523115013

酸化インジウム粉末及びITO焼結体の製造方法

発明者： 山本 和明 ,  小川 展弘 ,  隈 公貴 ,  毛利 隆 ,  吉村 了治
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-250469
公開番号（公開出願番号）：特開平5-193939
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：

【要約】【構成】 BET表面積が、15m2/g以上、30m2/g以下、BET径と結晶子径の比が2以下、粒度分布測定より求めた一次粒子の平均粒子径が0.1μm以下である酸化インジウム粉末、及びこの粉末と酸化スズとを混合、焼結してなるITO焼結体の製造方法。【効果】 得られる酸化インジウム粉末は微細で高分散な粉末であり、この粉末を用いることにより、常圧焼結で高密度なITO焼結体を製造することができる。この焼結体はスパッタリングターゲット材として優れた特性を有する。

請求項（抜粋）：

BET表面積が、15m2/g以上、30m2/g以下、BET径と結晶子径の比が2以下、粒度分布測定より求めた一次粒子の平均粒子径が0.1μm以下である酸化インジウム粉末。

IPC (2件)：

C01G 15/00 ,  C04B 35/00