特許

J-GLOBAL ID：200903045523253459

基板検査装置

発明者： 安田 守 ,  佐藤 靖 ,  藤崎 暢夫
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-074039
公開番号（公開出願番号）：特開2004-279335
出願日： 2003年03月18日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】ガラス基板の撓みや振動を抑えて正確な基板検査を行うこと。【解決手段】各平面浮上ブロック31、32から吹出されるエアーにより浮上していてるガラス基板28の両端部辺を各ガラス駆動ステージ26、27上に吸着固定し、これらガラス駆動ステージ26、27の駆動によってガラス基板28を高速移動する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板を浮上させる浮上ブロックと、 前記浮上ブロック上で浮上した前記基板の両端を吸着保持して一方向に前記基板を搬送する基板搬送部と、 前記基板搬送部の搬送方向と交差するように前記浮上ブロックに形成した開口部と、 前記開口部に沿って移動可能に設けられ、前記基板を拡大観察する顕微鏡用対物レンズと、 前記顕微鏡用対物レンズに対峙して設けられ、前記基板を透過照明する照明部と、 前記対物レンズの少なくとも観察領域の周辺にエアーを吹上げて前記基板を水平に保持するエアー保持手段と、 を具備したことを特徴とする基板検査装置。

IPC (4件)：

G01N21/958 ,  G01N21/84 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333

FI (4件)：

G01N21/958 ,  G01N21/84 C ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333 500

Fターム (19件)：

2G051AA42 ,  2G051AA51 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AC22 ,  2G051CA04 ,  2G051CA11 ,  2G051CA20 ,  2G051CB02 ,  2G051DA07 ,  2H088FA11 ,  2H088FA17 ,  2H088HA01 ,  2H090JB02 ,  2H090JC18 ,  5C012AA09 ,  5C012BE03 ,  5C040JA26 ,  5C040JA34