特許

J-GLOBAL ID：200903045531370677

ダイシング方法および装置

発明者： 内海 康行
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-126910
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338564
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：

【要約】【目的】 ダイシング対象の板状物の厚さ寸法のばらつきに関係なく、正確に切り込み量や切り残し量を制御することが可能なダイシング技術を提供する。【構成】 キャリア治具2のダイシングテープ3に貼付された状態でダイシングテーブル1に載置されるウェハ4のダイシングテープ3を含めた厚さ寸法を、レーザ位置センサ6が検査光6aを介して実測し、ブレード駆動機構7を介してブレード5を制御する主制御部8に入力し、主制御部8は、実測されたウェハ4の厚さ寸法に基づいてブレード5の下端とウェハ4のダイシング面4a(上面)との距離Gを算出し、この距離Gに基づいてダイシング時のウェハ4に対するブレード5の切り込み量を正確に制御するダイシング装置である。

請求項（抜粋）：

ブレードを用いてダイシングテーブルに載置された板状物をダイシングするダイシング方法であって、前記ダイシングに先立って前記板状物の厚さ寸法を実測し、前記厚さ寸法に基づいて前記板状物に対する前記ブレードの切り込み量を制御することを特徴とするダイシング方法。