特許
J-GLOBAL ID:200903045538433640

CVDダイヤモンド加工物およびそれの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 生沼 徳二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-037699
公開番号(公開出願番号):特開平5-098443
出願日: 1991年02月08日
公開日(公表日): 1993年04月20日
要約:
【要約】 (修正有)【構成】 最初に、所望のダイヤモンド加工物の陰型を成す原型が反応室内に配置され高いCVDダイヤモンド生成温度にまで加熱される。次いで、反応室内に炭化水素-水素混合ガスが供給される。この混合ガスを反応室内において少なくとも部分的に分解することにより、原型の表面上にCVDダイヤモンド層16〜20が形成される。最後に、CVDダイヤモンド層16〜20を原型から除去することにより、該層を形成するために使用された原型表面の表面特性を有するダイヤモンド加工物が得られる。【効果】 特別の注文に応じてダイヤモンド加工物を製造し得、又特注ダイヤモンド加工物を再現可能に製造し得る。更にもう一つの利点は、平滑や表面や特定の表面溝造を持った表面を含め、所望の表面特性を示すダイヤモンド加工物を製造出来る。
請求項(抜粋):
(a) 所定のダイヤモンド加工物の陰型を成す原型が反応室内に配置され高いCVDダイヤモンド生成温度に加熱され、(b) 前記反応室内に炭化水素-水素混合ガスを供給し、(c) 前記反応室内において前記混合ガスを少なくとも部分的に分解することにより、前記原型の表面上にCVDダイヤモンド層を形成し、次いで(d) 前記CVDダイヤモンド層から前記原型を除去することにより、前記原型の前記表面の表面特性を有するダイヤモンド加工物を得る諸工程から成ることを特徴とする三次元的なダイヤモンド加工物の製造方法。
IPC (2件):
C23C 16/26 ,  C23C 16/44
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平2-309678
  • 特開平1-313311
  • 特開平3-097697
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