特許
J-GLOBAL ID:200903045543840156

透明材の欠陥検査方法及び欠陥検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小西 淳美
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-203075
公開番号(公開出願番号):特開平8-050104
出願日: 1994年08月05日
公開日(公表日): 1996年02月20日
要約:
【要約】【目的】 透明な板材であるレンズ加工前のフレネルレンズ用材料ないしフレネルレンズシートの表面欠陥、及び内部欠陥を、欠陥検出精度が高く、微欠陥検出にも対応でき、且つ、被検査物を検査時に傷つけない、観察者の目にも良い、目視による欠陥検出方法及び装置を提供する。【構成】 透明な板材の、端部平面より検査光を該透明な板材に入射して、透明な板材の表面と内部の欠陥を目視により透明な板材の表面から検出するための装置であって、少なくとも、該透明な板材に検査光を入射するための線状の光源部と、透明な板材をささえる支持部と、透明な板材の厚さの変化に対応して、透明な板材の検査光入射側端部を両側から挾み固定し、且つ、検査光の漏れ防止をするためのガイド部と、透明な板材の観察者と反対側の裏面に接し、透明な板材の面を入射する検査光に対し平行に保持する検査光吸収性の平行保持部とを備えている。
請求項(抜粋):
透明材の端部平面より検査光を透明材に入射して、透明材の表面と内部の欠陥を、欠陥周辺との屈折率、反射率の違いにから周辺部より明るい部分または暗い部分として認識して、目視により透明材の表面から検出することを特徴とする透明材の欠陥検査方法。
IPC (3件):
G01N 21/89 ,  G01N 21/00 ,  G03B 21/62
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平4-320951
  • 特開昭52-008840
  • 特開平4-320951
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