パターン欠陥検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-226431
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094534
出願日： 1994年09月21日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】装置を簡略化し、処理時間を短縮化し、欠陥検出精度を上げることができるパターン欠陥検出装置を提供する。【構成】被検査体1をエリアセンサー2で撮像し、イメージプロセッサ4で2値化した被検査画像データc1 をメモリーに記憶する。イメージプロセッサ4には予め基準パターンの基準画像データaを記憶しておく。被検査画像データc1 を基準画像データaと比較し、θ方向成分の位置ずれについてはモータードライバー8およびゴニオメータ10を介してエリアセンサー2を回転させることにより補正する。X方向,Y方向成分の位置ずれについてはイメージプロセッサ4でのデータの電気的シフトによって補正する。

請求項（抜粋）：

欠陥を含まない基準パターンと被検査体のパターンを比較して被検査体の欠陥箇所を検出するパターン欠陥検出装置において、被検査パターンの画像を取り込む画像入力手段と、その取り込んだ画像データを記憶する手段と、その画像データを加工する画像処理手段と、前記画像入力手段を被検査体に平行な面内で回転させる機械式回転手段とを備え、基準パターンと被検査パターンとの位置整合において、θ方向成分については前記機械式回転手段で画像入力手段を機械的に回転させることによって行い、X方向成分およびY方向成分については前記画像処理手段でのデータの電気的シフトによって行うことを特徴とするパターン欠陥検出装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 , G06T 7/00 , G06T 5/00 , H01L 21/66

FI (2件)：

G06F 15/62 405 C , G06F 15/68 320 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-249649
特開昭63-061373
特開平4-107994

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