特許
J-GLOBAL ID：200903045548361078
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
落合 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-187450
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003625
出願日： 1992年06月23日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：
【要約】【目的】 試料表面の状態が実時間でしかも正確に観測できる検査装置を提供する。【構成】 試料に対して光を照射し、その透過光または反射光を光学素子によって集束し、その直後で前記試料の観測を行うように構成された検査装置において、前記光学素子の後像空間焦平面またはその近傍に開口絞りを設置したものである。
請求項（抜粋）：
試料に対して光を照射し、その透過光または反射光を光学素子によって集束し、その直後で前記試料の観測を行うように構成された検査装置において、前記光学素子の後像空間焦平面またはその近傍に開口絞りを設置したことを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
G02B 27/54
, G01N 21/01
, G01N 21/45
