特許
J-GLOBAL ID：200903045548519674
液体の性質を測定するための弾性表面波装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷 照一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-345804
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194346
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 容器内に被測定用の液体を満たしたままで液体の性質(粘性率、導電率、誘電率)を簡単に測定する。【構成】 圧電基板51上に平行に第1〜第3領域を形成し、各領域の両端部に櫛歯状の入力電極52〜54と出力電極55〜57とを所定距離を隔てて相対向してそれぞれ形成する。前記第1及び第2領域の表面全体に絶縁膜を形成するとともに同絶縁膜の表面全体に導電膜を形成し、前記第3領域の表面に入力電極54と出力電極57との間の所定領域を残して絶縁膜を形成するとともに同絶縁膜の表面に導電膜を形成する。さらに、前記第1領域を液密性のキャップ60で覆う。このように構成した弾性表面波装置を容器40に満たした液体A内に入れ、入力電極52〜54から出力電極55〜57に伝搬される弾性表面波の伝搬の相違をベクトルボルトメータ72で測定して液体Aの性質を計測する。
請求項（抜粋）：
圧電基板上に平行に設けられた第1〜第3領域の各両端部に入力電極と出力電極とを所定距離を隔てて相対向してそれぞれ形成し、前記第1及び第2領域の表面全体に絶縁膜を形成するとともに同絶縁膜の表面全体に導電膜を形成し、前記第3領域の表面に入力電極と出力電極との間の所定領域を残して絶縁膜を形成するとともに同絶縁膜の表面に導電膜を形成し、前記第1領域を液密性のキャップで覆うようにしたことを特徴とする液体の性質を測定するための弾性表面波装置。
IPC (3件)：
G01N 29/18
, G01N 29/02
, G01N 29/20
