特許

J-GLOBAL ID：200903045566505052

ドライエッチングの終点検知方法

発明者： ▲梁▼瀬 暢
出願人/特許権者： 関西日本電気株式会社
代理人 (1件)： 江原 省吾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-001809
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211693
出願日： 1994年01月13日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】 一定のエッチング圧で安定にドライエッチングすると共に、エッチングの終了時点を容易に検出する【構成】 一定流量の反応性ガスをエッチングチャンバ1内に導入、排気し、エッチングチャンバ1内に配置した被加工物7に高周波電源8により活性化した反応性ガスを接触させて、被加工物1を触刻するドライエッチング方法に於いて、前記反応性ガスの接触により生じるエッチングチャンバ1内の圧力変化を圧力検出手段9で検出し、自動圧力制御装置10で排気系のバタフライバルブ4を開閉させて、エッチングチャンバ1内のガス圧を一定に保持させると共に、エッチング終点検知器11で前記自動圧力制御装置10より発せられるバタフライバルブ開度信号の変化を検出してドライエッチングの終点を検知する。

請求項（抜粋）：

一定流量の反応性ガスをエッチングチャンバ内に導入、排気し、前記エッチングチャンバ内に配置した被加工物に高周波放電により生成した活性な反応性ガスを接触させて前記被加工物を触刻するドライエッチング方法に於いて、前記反応性ガスの接触によるエッチングチャンバ内の圧力変化を圧力検出手段で検出させ、自動圧力制御装置で排気系のバタフライバルブを開閉させて前記エッチングチャンバ内のガス圧を一定に保持させると共に、前記自動圧力制御装置より発せられるバタフライバルブの開度信号変化を検出して前記ドライエッチングの終点を検出することを特徴とするドライエッチングの終点検知方法。